本閥主要用于超純氣體分析系統(tǒng)的壓力調(diào)節(jié)和恒定，結(jié)構(gòu)采用特種不銹鋼膜片作為彈性元件，死體積小、平衡速度快,使用溫度范圍寬，性能穩(wěn)定；且內(nèi)腔結(jié)合處幾無(wú)橡膠密封件,避免了揮發(fā)性物質(zhì)的產(chǎn)生。其*的性能和小的安裝體積為儀器和便攜式儀器氣路控制部件的。
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